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致力于研发和制造优质的DUV晶体氟化物

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前载式单探头

INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。

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CrystalSix 探头

INFICON CrystalSix 晶体对于要求连续监控速率的长时间过程非常重要。CrystalSix 传感器在一个传感器头中含有 6 颗石英监控器晶体，为 OLED、MBE、太阳能、长时间光学镀膜或其他需要长时间腔室排气的过程提供安全性。与 INFICON 薄膜沉积监控器结合使用时，CrystalSix 在当前晶体失效或不稳定的情况下，会自动将新的晶体转动到适当的位置。晶体更换是自动完成的，不会中断您的过程，支持持续监控沉积速率。

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QCM 传感器馈入件

INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。INFICON 馈入件还配备了 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头，用于轻松安装和传感器长度调整。根据要求可提供其他馈入件款式（KF40 等），因此请联系 INFICON 提出您的馈入件需求。

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RSH-600 旋转式探头

适用于最苛刻应用的卓越晶体性能

RSH-600 旋转式传感器头设计用于需要采用非常厚的薄膜和多种不同材料的苛刻应用。RSH-600 将六颗晶体固定在热屏蔽、水冷却的壳体中，确保在温度高达 300°C 的应用环境下获得卓越的晶体性能。晶体固定在一个易于拆卸的 Teflon® 和不锈钢晶体支架中。

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Crystal 12 探头

自动晶体转换功能最大限度延长生产时间

INFICON Crystal 12 传感器与INFICON IC6 薄膜沉积控制器结合使用时，可自动更换其晶体，而无需中断过程。晶体不稳定或失效时，IC6 会立即向 Crystal 12传感器旋转传送带发送信号，要求其立即将新晶体旋转到位，从而实现持续沉积速率监控。为进一步最小化停工时间，可以将晶体预先加载到另一个可选旋转传送带上，这样，可以直接轻松快速地更换装有失效晶体的旋转传送带，从而最大限度缩短系统打开的时间。

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Sputtering Sensor

INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现最佳冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体，更换时无需从系统中拆卸传感器头。

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