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致力于研发和制造优质的DUV晶体氟化物

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McVac侧装单探头

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McVac顶装单探头

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McVac真空法兰

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前载式单探头

INFICON 前装式单晶体传感器拥有经实践检验的可靠性和耐用性，提供超越当前市场上的任何传感器头的最佳热稳定性。前装式设计允许在侧面插入空间不足的应用中轻松插入晶体支架。经机械装配而成，而不是焊接在一起，因此，您能够在现场方便地更换其部件（如有必要）。传感器可单独订购，或以传感器/馈入件组合的形式订购，该组合可焊接在一起，或通过压缩接头装配在一起。

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QCM 传感器馈入件

INFICON 提供各种石英晶体监测仪 (QCM) 传感器馈入件，以适应多种 QCM 传感器和腔室配置。CF40 (2.75 in. ConFlat®) 和 2.54 cm (1 in.) 螺栓式馈入件提供电气连接、水冷却和空气管的各种组合。INFICON 馈入件还配备了 Ultra-Torr O 形密封圈压缩接头，用于轻松安装和传感器长度调整。根据要求可提供其他馈入件款式（KF40 等），因此请联系 INFICON 提出您的馈入件需求。

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Sputtering Sensor

INFICON 溅射传感器专为各种溅射过程而设计。镀金铍铜传感器体和冷却管在溅射环境中可实现最佳冷却效果。传感器头内置的磁铁可抑制因外部磁场偏转溅射系统中的高能自由电子而引起的过热。后装式晶体支架设计便于更换晶体，更换时无需从系统中拆卸传感器头。

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