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SQM160

SQM160使用成熟的 INFICON 石英晶体传感器技术在薄膜沉积过程中测量速率和厚度。两个传感器输入为标准输入,另外四个传感器输入为可选输入。两个记录器输出提供模拟速度和厚度信号。

SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器,标准型有两路传感器输入,同时,4路传感器输入可选,具体视用户实际应用而定;双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。在大型系统中,传感器输入可以分配给不同材料,采集的数据通过平均值,以达到更精准的沉积控制;也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中,为了延长传感器的使用寿命,速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外,还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。

数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件,可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数,包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时,USB或以太网选项也添加通信协议中,以超大程度方便不同用户。

 

产品特点:
■ 双通道(标准型),四通道可选
■ 沉积速率/膜层厚度模拟输出
■ 高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
■ RS-232 接口, USB 或以太网可选