SQM160

SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。在大型系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精准的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积速率过程中，为了延长传感器的使用寿命，速率采集模式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1Å/s 还是0.01Å/s的速率显示模式.另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。

数字输入可以通过外部信号来对读数进行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows®窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数，包括仪器操作和保留程序数据到特定的Excel®文档。同时，USB或以太网选项也添加通信协议中，以超大程度方便不同用户。

产品特点：
■ 双通道（标准型），四通道可选
■ 沉积速率/膜层厚度模拟输出
■ 高精度: 0.03Hz at 10个读数/s
■ RS-232 接口, USB 或以太网可选