致力于研发和制造优质的DUV晶体氟化物

 

首页标题    Inficon膜厚仪     SQC310
5

SQC310

凭借先进的技术、完善的显示和实惠的价格,INFICON SQC-310 系列提供同类膜厚控制仪无法企及的优势。可以选择适合您应用的理想型号:连续镀膜 (SQC-310) 或共镀膜 (SQC-310C)。

具有先进的电子学,改进的显示器,和非常高的性价比,INFICONSQC310系列为您提供其它生产厂薄膜控制仪所没有的性能与特色,同时可为您的应用选择理想的模式:顺序镀膜(SQC310)或并行镀膜(SQC310C)。用于顺序镀膜,SQC310装备有2个传感器输入,2个源输出,和8个数字输入/输出,提供为这些数量加倍的扩展插件板选件。 用于并行镀膜,SQC310C控制仪监测多至4个石英晶体传感器,带有4个PID控制输出,16个数字输入和16个继电器输出,,与SQC310 的规范相同。

 

产品特点 

     ■   高亮度,¼VGA活性点阵彩色LCD显示器–可显示英文或中文. 
     ■   标准RS-232和USB(有以太网选件).   
     ■    易设置和操作,有“快速设置” 菜单,6个上下文-敏感的按钮,和方便的参数设定旋钮.
     ■    Windows®  程序用于开发,测试,和下载工艺过程,  和将仪器数据记录至您的PC上, 用于过程分析与质量控制.
     ■    准确的过程控制,尤其用于低淀积率,在10 读值/秒时的分辨率为±0.03Hz,在0至50°C温度范围内的频率稳定性为±2ppm.
     ■    贮存容量高至100个工艺过程,1,000个膜层,50 个膜系. 
     ■    用单传感器或多传感器监测源材料, 提供准确的源分布监测.