致力于研发和制造优质的DUV晶体氟化物

 

首页标题    探头及组件    RSH-600 旋转式探头
六探头

RSH-600 旋转式探头

适用于最苛刻应用的卓越晶体性能

RSH-600 旋转式传感器头设计用于需要采用非常厚的薄膜和多种不同材料的苛刻应用。RSH-600 将六颗晶体固定在热屏蔽、水冷却的壳体中,确保在温度高达 300°C 的应用环境下获得卓越的晶体性能。晶体固定在一个易于拆卸的 Teflon® 和不锈钢晶体支架中。

功能

  • 六颗晶体
  • 位置反馈(视控制器而定)
  • 可调长度(带可选法兰)
  • 坚固耐用的设计

零件号

 

规格

类型 RSH-600 Rotary Sensor
晶体数量   Six
晶体尺寸   14 mm (0.550 in.) diameter
安装孔   50.8 mm (2.0 in.) diameter
总长度   See Data Sheet
真空可调长度   See Data Sheet
电源要求   24 V (dc) Solenoid Valve:
21.6 - 26.4 V (dc), 40 mA

115 V (ac) Solenoid Valve:
90 - 132 V (ac), 36/32 mA rms (50/60 Hz)
晶体转换方法   Air Actuated @ 55 psi (4 kg/cm2) regulated
冷却方法   Water cooled at 5 L/m at 2 kg/cm2 (28 psi) (Do not allow to freeze)
空气和水连接   One ¼ in. quick connect for air, two ¼ in. compression fittings for water
无水时的最高烘烤温度   130° C
工作温度(水冷)   300° C max with stainless steel head cover

400° C max with copper head cover
重量   RSH-600 ~ 8.5 lb. (3.8 kg), varies with overall length
材料   304 stainless steel, Teflon®, Beryllium Nickel
  • 型号
    RSH-600 Rotary Sensor
  • 常用货号(P/N)
    15320-602;15320-612;15320-632;15320-642
  • 品牌
    inficon
  • 产地
    美国